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原序1

第一章 光干涉概述1

1 基本概念与基本量1

2 相干性6

3 两个相干光源所发生的干涉现象7

干涉条纹的宽度与形状7

波前分光法10

振幅分光法12

第二章 平板干涉14

4 平行平面板上的干涉现象14

平板上光程差的计算14

等倾环的获得16

条纹对比度与平板楔形度之间的关系19

5 楔形板上的干涉现象20

楔形板的光程20

光源为有限尺寸时等厚条纹的对比度22

定域面25

在定域面以外观察干涉图样29

6 平面与球面之间空气层上的干涉现象32

牛顿环的获得33

表面曲率半径的测量34

7 平板上的多光束干涉现象35

透射光的强度37

反射光的强度38

8 两块平板上的干涉现象40

白光等倾条纹的获得41

平板厚度之差的测量43

第三章 白光干涉特性和补偿器45

9 概述45

10 两束干涉光路中的玻璃厚度不等问题47

用空气进行玻璃补偿47

消色差条纹的获得49

对光学零件平面平行性的要求50

11 用插入其它牌号的玻璃进行玻璃厚度不等的补偿53

零次消色差条纹的获得53

复消色差条纹的获得54

12 测量和调整用的玻璃补偿器55

转动平板式补偿器56

双楔补偿器57

消色差补偿器59

复消色差补偿器61

第四章 几种主要干涉仪的光路和性能63

13 可以将其光路系统简化为一块空气平板的干涉仪63

斐索干涉仪63

迈克尔逊干涉仪63

法布里--珀罗标准具70

14 具有两块平板的干涉仪73

雅敏干涉仪73

詹德尔一马赫干涉仪78

瑞利干涉仪82

15 菲涅尔型干涉仪82

迈克尔逊星体干涉仪87

林尼克星体干涉仪89

16 全息干涉仪90

第五章 干涉图样对比度降低的原因95

17 对比度的精确定义95

视场对比度和视场指定点上的对比度95

对比度的测量值和真实值97

18 光源的非单色性99

两条窄谱线99

一条宽谱线100

19 干涉光束的光强不相等性和漫射光的存在103

20 干涉光束偏振状态的差异106

自然光与线偏振光之间的干涉107

两束线偏振光之间的干涉108

21 对比度与光源尺寸之间的关系112

楔形板与菲涅尔双镜之间的相似性113

在厚楔板情况下的条纹位移114

22 干涉光束之间的不平行性119

23 波面畸变124

球面形状的畸变波(W2)125

柱面形状的畸变波(W2)127

具有局部平面偏差的畸变波(W2)129

24 光阑的不正确安装133

干涉仪的用途141

干涉仪的结构原则141

第六章 对干涉仪光学组件和机械组件的要求141

25 对不同类型干涉仪组件要求的分析141

干涉仪光学组件到干涉场的距离143

主要光学零件和辅助光学零件144

26 对主要光学零件制造质量的要求144

反射镜和平板表面144

光学零件的厚度和楔形度152

光学零件的玻璃选择154

27 对主要光学零件的安装精度要求155

零件沿光轴偏移155

零件在垂直于光轴方向的偏移157

干涉仪反射镜的偏转159

28 对准直光管和干涉仪接收部分的要求160

准直光管离焦的影响160

干涉仪接收部分畸变的影响162

29 对机械组件的要求165

结构刚性165

温度变化165

调整装置168

干涉仪的安装调试和使用171

安装调试的步骤171

测量条纹移动和弯曲的方法174

31 概述177

第七章 测量长度的干涉仪177

32 测量线纹尺和量块的特制干涉仪179

全苏计量科学研究院的基准干涉装置179

全苏计量科学研究院的通用干涉仪181

33 绝对测量量块长度的干涉仪185

柯氏干涉仪185

英国国家物理研究所(NPL)干涉仪191

黑尔格--华茨型干涉仪191

34 比较测量量块长度的干涉仪194

技术光波干涉法194

接触式干涉仪196

卡尔达雪夫干涉仪197

双接触干涉仪197

ИKM-10型干涉仪198

35 测量零件外部尺寸的干涉仪201

MHИ-11型多光束干涉显微镜201

用玻璃平晶测量球径和圆柱直径的干涉方法203

测量球径和圆柱直径的И3K-57型干涉仪204

36 测量零件内部尺寸的干涉仪209

用塞规测量透明环规内径的干涉方法210

不接触比较测量孔径从8至30毫米的干涉内径测微计211

比较测量孔径从5至12毫米的ИГ-88型干涉内径测微计215

绝对测量法218

37 测量小位移的干涉指示仪220

灵敏度倍增的小接触干涉指示仪222

双头干涉测微计225

38 测量大位移的激光干涉仪226

光学系统原理226

布朗--布维尔干涉仪228

ИПЛ型干涉仪229

K-H公司的干涉仪230

H-P公司的干涉仪231

第八章 检查表面形状与微观几何特征的干涉仪233

检查平面的干涉仪233

玻璃样板法233

斐索型干涉仪的应用235

全息干涉仪237

高灵敏度的ИKП-100型干涉仪237

光电方法239

检查大表面轮廓直线性的干涉仪240

40 检查球面的干涉仪242

球面玻璃样板242

不接触法检查中等直径的球面干涉仪244

检查大凹面的不等臂激光干涉仪250

检查小直径球面的干涉仪251

41 检查复杂形状表面的干涉方法和仪器254

检查球面的玻璃样板和干涉仪254

检查任意表面形状的方法256

二次曲面的检验258

圆柱表面的检验260

沟槽表面的检验262

42 干涉显微镜265

林尼克干涉显微镜265

干涉图样的对比度268

获得直条纹的条件270

显微物镜孔径的作用273

查哈里也夫斯基单物镜干涉显微镜275

检查光洁度的其它方法276

43 显微干涉轮廓仪277

林尼克显微干涉轮廓仪277

圆柱透镜的位置和焦距的计算279

狭缝的允许宽度281

光学零件的制造和装配精度对条纹对比度和形状的影响282

检查零件内表面光洁度的显微干涉轮廓仪283

带有光谱分光镜的显微干涉轮廓仪285

低灵敏度的显微干涉轮廓仪287

第九章 其它用途的干涉仪288

44 研究光学系统的干涉仪288

泰曼干涉仪288

林尼克法290

才尔尼克法291

45 测量物质折射率的干涉仪292

瑞利干涉仪292

雅敏干涉仪294

固体的折射率测定296

46 测定透明物体均匀性的干涉仪297

迈克尔逊--泰曼干涉仪297

詹德尔--马赫干涉仪298

剪切式干涉仪299

全息干涉仪301

串联式干涉仪303

47 研究透明微物的干涉显微镜305

MБИH-4型生物干涉显微镜305

双焦干涉显微镜307

环形光路式干涉显微镜308

48 三光束干涉仪和四光束干涉仪310

第十章 提高干涉测量灵敏度的方法310

瑞利型三光束干涉仪311

洪辰格三光束干涉仪314

哈利哈伦和森四光束干涉仪316

49 目测高灵敏度双光束干涉仪319

双透射式双光束干涉仪320

兰奇光路322

多次反射的镜面机构322

50 光电法测量程差的变化324

测量小程差的调频法324

消色差条纹对准法327

文献目录333